產(chǎn)品名稱(chēng)：

中國(guó)光電URE-2000S/A型光刻機(jī)

技術(shù)參數(shù)：

1、曝光面積：150 mm×150mm

2、分辨力：1μm（膠厚2μm的正膠）

3、對(duì)準(zhǔn)精度：±3μm（雙面,片厚0.8μm），±0.8μm（單面）

4、掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸，7英寸

5、樣片尺寸：直徑f30mm--f150mm

                   厚度0.1mm--8mm

6、照明均勻性：±3.5%（f100mm范圍） ±5.5%（f150mm范圍）

7、掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：X:±5mm;   Y:±5mm;q:±6度

8、汞燈功率：1000W（直流）

9、最大膠厚：400mm（SU8膠，用戶提供勻膠顯影條件）

10、曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）

外形尺寸：

1400mm（長(zhǎng)）?1200mm(寬)?1850mm（高）

配置：

（1）曝光頭

1、 冷光橢球鏡

2、1000 W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗)

3、XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)

4、光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門(mén)、準(zhǔn)直鏡鏡1、準(zhǔn)直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（100個(gè)透鏡）、i線濾光片、場(chǎng)鏡1、場(chǎng)鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2

5、冷卻風(fēng)扇

（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

1、掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)

2、轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)

3、樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動(dòng)完成

4、樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)

5、承片臺(tái)4個(gè) （2英寸、3英寸、4英寸，6英寸）

6、掩模夾4個(gè) （3英寸、4英寸、5英寸，7英寸）

7、掩模抽拉式上下機(jī)構(gòu)

（3）對(duì)準(zhǔn)顯微鏡（可以選擇帶CCD型，目鏡和監(jiān)視器可同時(shí)觀測(cè)）

1、燈源（配備品2只）、   電源

2、雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體

3、目鏡3對(duì)（10倍、16倍、20倍，共6個(gè)）

4、物鏡3對(duì)（4倍、10倍、20倍，共6個(gè)）

5、CCD光學(xué)系統(tǒng)（選配件）

6、XYZ底面對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

（4）底面CCD對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

1、光源（配備品2只）、   電源

2、成像光學(xué)系統(tǒng)(2套,20倍放大)

3、數(shù)據(jù)采集卡

4、CCD

（5）電控系統(tǒng)

1、汞燈觸發(fā)電源(1000W直流汞燈)

2、單片機(jī)控制系統(tǒng)

3、控制柜桌

4、計(jì)算機(jī)系統(tǒng)（19英寸寬屏液晶顯示器）

（6）氣動(dòng)系統(tǒng)

1、氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等

2、電磁閥驅(qū)動(dòng)

3、氣動(dòng)儀表

（7）其他附件（選配）

1、真空泵一臺(tái)

2、空壓機(jī)一臺(tái)

3、恒溫循環(huán)水冷卻系統(tǒng)

4、管道

（8）技術(shù)資料

1、使用維修說(shuō)明書(shū)