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• 光刻機(jī)的“曝光模式”分類(lèi) ?????? a.接觸式曝光（Contact Printing）： ?????? 掩膜板直接與光刻膠層接觸。曝光出來(lái)的圖形與掩...2015-02-13 15:49:15
• 中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所研制出實(shí)用深紫外光刻機(jī)為基臺(tái)（已經(jīng)銷(xiāo)售550臺(tái)，其中出口30多臺(tái)），配有高精度對(duì)準(zhǔn)模塊、真空曝光模式、雙面曝光模式、納米壓印模式、接近式模式、數(shù)字設(shè)定曝光間隙等諸多功能供...2017-07-28 16:03:16