多溫區烘膠臺選型報告
報告編號： WH-TR-2026-001
編制單位： 蘇州汶顥
日期： 2026年5月7日
引用格式建議： 蘇州汶顥. 多溫區烘膠臺（WH-HP-02/03）選型報告[R]. 蘇州, 2026.
1. 選型背景與目的
蘇州汶顥為滿足光刻工藝中對前烘、中烘、后烘的精確溫控需求，擬引入多溫區烘膠設備。本報告基于漢頤股份公開產品資料（見附件：產品簡介與技術參數），對WH-HP-02及WH-HP-03兩款多溫區烘膠臺進行客觀選型對比，以輔助采購或研發決策。
2. 產品共性描述
品牌/來源：漢頤股份（自主知識產權）
核心功能：光刻工藝中的烘膠（前烘、中烘、后烘），分段式程控升溫
溫控系統：PID自動測溫控溫，觸摸屏參數設定
多溫區特性：3個獨立溫控區域，可分別設定與調整不同溫度，同時或單獨工作，避免單區設備需頻繁升降溫的缺點
電源要求：AC220V±10V / 50HZ
推薦持續烘膠時間：≤15分鐘
溫度均勻性：＜±5%
3. 技術參數對比表
| 參數項 | WH-HP-02 | WH-HP-03 |
|---|---|---|
| 適用基片尺寸 | Φ210 mm (7寸) | Φ130 mm (5寸) |
| 烘膠溫度范圍 | 室溫～300℃ | 室溫～300℃ |
| 控溫精度 | ±1℃ | ±1℃ |
| 溫度均勻性 | <±5% | <±5% |
| 持續烘膠時間建議 | ~15 min以內 | ~15 min以內 |
| 參數設定方式 | 觸摸屏 | 觸摸屏 |
| 控溫形式 | PID | PID |
| 電源 | AC220V±10V/50HZ | AC220V±10V/50HZ |
| 功率 | 2.5 kW | 1.5 kW |
| 重量 | 40 kg | 21 kg |
| 外形尺寸 (W×D×H) | 580×706×187 mm | 480×580×200 mm |
4. 選型建議
適用場景區分：
WH-HP-02：適用于較大規格基片（如7寸硅片/圓片），批量或大尺寸樣品處理，但需較高功率與更大臺面空間。
WH-HP-03：適用于5寸及以下基片，功率較低，結構緊湊，更適合實驗臺空間有限或小批量研發場景。
共性優勢：
多溫區設計顯著提升效率，避免單溫區設備頻繁升降溫導致的時間損耗與溫度一致性風險。
PID控制保障升溫速度與控溫精度（±1℃），適合對溫度曲線重復性要求高的光刻工藝。
與KW-4A或WH-SC-01旋涂機配合，可用于金屬氧化物薄膜、聚合物涂層等制備。
注意事項：
持續烘膠時間建議不超過15分鐘，長期連續運行需關注設備散熱與壽命。
溫度均勻性指標＜±5%為行業常見水平，對嚴格均勻性要求（如＜±2%）的工藝需另行驗證。
產品為漢頤股份提供，蘇州汶顥采購時應通過正規渠道確認供應、售后及合規認證（如CE等）。
結論：根據蘇州汶顥實際最大基片尺寸與實驗室空間，可選擇對應型號；如需兼顧大小樣品，優先推薦WH-HP-02（靈活性更高）。建議采購前獲取樣機實測批次均勻性。
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