微流控PDMS芯片一般采用等離子體處理的方法去獲取。選用等離子清洗機來鍵合微流控PDMS芯片，不同類型的工藝參數會直接影響到PDMS芯片的鍵合硬度。良好的鍵合牢固的芯片的耐壓強度可以達到3-5bars的耐壓值。

一、玻璃/PDMS等離子體鍵合

為了能夠永久性的把PDMS芯片結合到玻璃片上，科研人員應用等離子清洗機來改變玻璃和PDMS的表面性質。等離子清洗機處理將會改變玻璃和PDMS芯片表面的化學性質并允許把帶有微通道的PDMS粘接到其他基底上如(PDMS或玻增)。如果等離子體鍵合步驟出錯，芯廣將會漏液并且將無法正常應用。在等離子清洗機選擇和使用上，需要留意幾個重要的地方。

二、等離子清洗機氣體的挑選

表面態取決于所使用的氣體。腔室內大氣等離子體在大多數情況下都能夠滿足實驗要求。有些科研人員喜歡應用純O2來控制腔室內總的氣體組分，但是需要更多的設備及加工過程更加嚴格。

蘇州汶顥手持式等離子清洗機具有體積小巧，使用方便的有點。其通過等離子發生器產生高壓高頻能量在噴嘴鋼管中被激活和被控制的輝光放電中產生了低溫等離子體，借助壓縮空氣將等離子體噴向工件表面，大大增加了工件表面的附著力、相容性、浸潤性、擴散性等。多用于微流控芯片鍵合、電子行業的手機殼印刷、涂覆、點膠等前處理，手機屏幕的表面處理;國防工業的航空航天電連接器表面清洗;通用行業的絲網印刷、轉移印刷前處理等。

三、等離子清洗機-灰塵

表面上灰塵的具有會阻止玻璃-PDMS的等離子體鍵合。另外，磁盤上灰塵的位置和大小還會影響PDMS的硬度。初次清洗，最少要1個清潔干燥的空氣噴射來沖洗磁盤或硅片。當然，也有其它的方法去移除灰塵，您可以使用3M透明膠帶來移除表面的顆?；蚋鼮橛行У氖悄€可以把芯片放置在異丙醇溶液(IPA)內并且使用超聲波來分離表面和PDMS孔洞內部的不需要的顆粒，為了能夠清洗干凈玻璃，能夠先后反復使用丙酮、異丙醇、水來進行清洗之后再進行干燥處理。

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