光刻膠的組成

       光固化材料、光刻膠雖然都是由光引發(fā)劑（或光敏劑）、樹(shù)脂、單體（或活性稀釋劑）三種主要化學(xué)品原料和其他助劑組成的，但光刻膠需要使用專用的化學(xué)品原料。光刻膠是成像材料，和光固化材料相比，用途不同，使用的曝光光源和光能不同，反應(yīng)機(jī)理不完全相同，對(duì)于材料的溶解性、耐蝕刻性、感光性能、耐熱性等要求不同，各類光刻膠使用的光引發(fā)劑、樹(shù)脂、單體等原料需要化學(xué)結(jié)構(gòu)不同、性能各異的專用化學(xué)品。而且光刻膠用于加工制作非常精細(xì)的圖形線路，對(duì)原材料的純度、雜質(zhì)、金屬離子含量等有非常高的要求。光刻膠種類非常多，根據(jù)其化學(xué)反應(yīng)機(jī)理和顯影原理，可分負(fù)性膠和正性膠兩類。基于光刻膠的化學(xué)結(jié)構(gòu)，可以分為三種類型：光聚合型、光分解型、光交聯(lián)型。光刻膠經(jīng)過(guò)幾十年不斷的發(fā)展和進(jìn)步，應(yīng)用領(lǐng)域不斷擴(kuò)大，衍生出非常多的種類，不同用途的光刻膠曝光光源、反應(yīng)機(jī)理、制造工藝、成膜特性、加工圖形線路的精度等要求性能不同，對(duì)于原材料的性能要求也不一樣。因此每一類光刻膠使用的原料在化學(xué)結(jié)構(gòu)、性能上都比較特殊，要求不同品質(zhì)等級(jí)的專用化學(xué)品。

光刻膠的成分

      溶劑：使光刻膠具有流動(dòng)性，易揮發(fā)，對(duì)于光刻膠的化學(xué)性質(zhì)幾乎沒(méi)有影響。

      樹(shù)脂：惰性的聚合物，用于把光刻膠中的不同材料聚在一起的粘合劑，給予光刻膠其機(jī)械和化學(xué)性質(zhì)。

      光引發(fā)劑：光刻膠材料中的光敏成分，對(duì)光能發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)。

      添加劑：控制光刻膠材料特殊方面的化學(xué)物質(zhì)，用來(lái)控制和改變光刻膠材料的特定化學(xué)性質(zhì)光響應(yīng)特性。

光刻膠應(yīng)用分類

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    TFT-LCD必須在精密的無(wú)塵室內(nèi)，經(jīng)過(guò)300道以上的制程生產(chǎn)出來(lái)。無(wú)塵室內(nèi)的潔凈度，最高等級(jí)可達(dá)[10]，即是在無(wú)塵室環(huán)境內(nèi)，每立方尺只有10顆粉塵。

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