光刻膠與光刻技術(shù)

光刻技術(shù)也是利用光的能量，通過(guò)控制光照的區(qū)域使具有化學(xué)活性的液體化學(xué)物質(zhì)快速發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)，并通過(guò)實(shí)現(xiàn)選擇性的腐蝕得到圖形的技術(shù)。為了實(shí)現(xiàn)選擇性的腐蝕，需要使用溶解性、熔融性或親合性在曝光后發(fā)生明顯的變化的材料。這類材料稱為光刻膠。

光刻膠具有光化學(xué)敏感性，可利用其進(jìn)行光化學(xué)反應(yīng)，經(jīng)曝光、顯影等過(guò)程，將所需要的精細(xì)圖形從掩模版轉(zhuǎn)移至待加工的襯底上，然后進(jìn)行蝕刻等工藝加工。光刻膠是微制造領(lǐng)域最為重要的材料，是半導(dǎo)體工業(yè)最核心的工藝材料。光刻膠在隨后的發(fā)展中被廣泛應(yīng)用于光電信息產(chǎn)業(yè)的精細(xì)圖形線路的加工制作，是精細(xì)加工技術(shù)（MEMS）的關(guān)鍵性材料。

光刻膠在微流控芯片加工中的應(yīng)用

     微流控分析芯片上微通道的制作，起源于制作半導(dǎo)體及集成電路芯片所廣泛使用的光刻和蝕刻技術(shù)。光刻蝕是用光膠、掩模和紫外光進(jìn)行微制造，它的工藝成熟，已廣泛用于硅、玻璃和石英基片上制作微結(jié)構(gòu)。

我國(guó)光刻膠行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀

2016全球光刻膠市場(chǎng)規(guī)模及結(jié)構(gòu)（億美元）                                               2016我國(guó)光刻膠市場(chǎng)規(guī)模及增速（億元）

       整體來(lái)看，我國(guó)進(jìn)口光刻膠占據(jù)國(guó)內(nèi)87%的市場(chǎng)份額，自給率低。而國(guó)內(nèi)光刻膠受益于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移及國(guó)內(nèi)電子化學(xué)品的迅速發(fā)展，需求增速遠(yuǎn)高于全球。

光刻膠發(fā)明后，首先被運(yùn)用于軍事、國(guó)防設(shè)備中高性能集成電路、光學(xué)、傳感、通訊器材等的加工制作，因此發(fā)達(dá)國(guó)家以前一直將光刻膠作為戰(zhàn)略物資加以控制。1994年巴黎統(tǒng)籌委員會(huì)（對(duì)社會(huì)主義國(guó)家實(shí)行禁運(yùn)和貿(mào)易限制的國(guó)際組織）解散前，光刻膠都被列為禁運(yùn)產(chǎn)品。目前盡管放松了管制，但最尖端的光刻膠產(chǎn)品依然是發(fā)達(dá)國(guó)家管制對(duì)象。

目前中國(guó)需要的絕大部分光刻膠都依賴進(jìn)口或由外資企業(yè)在中國(guó)設(shè)立的工廠提供。光刻膠作為印制電路板、LCD顯示器、半導(dǎo)體的上游材料不能實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化，嚴(yán)重制約了我國(guó)微電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

光刻膠專用化學(xué)品化學(xué)結(jié)構(gòu)特殊、保密性強(qiáng)、用量少、純度要求高、生產(chǎn)工藝復(fù)雜、品質(zhì)要求苛刻，生產(chǎn)、檢測(cè)、評(píng)價(jià)設(shè)備投資大， 技術(shù)需要長(zhǎng)期積累。至今光刻膠專用化學(xué)品仍主要被光刻膠生產(chǎn)大國(guó)日本、歐美的專業(yè)性公司所壟斷。

生產(chǎn)光刻膠的原料光引發(fā)劑、光增感劑、光致產(chǎn)酸劑和光刻膠樹(shù)脂等專用化學(xué)品是體現(xiàn)光刻膠性能的最重要原料，和光刻膠一樣長(zhǎng)期以來(lái)被國(guó)外公司壟斷。我國(guó)對(duì)光刻膠及專用化學(xué)品的研究起步較晚，國(guó)家非常重視，從“六五計(jì)劃”至今都一直將光刻膠列為國(guó)家高新技術(shù)計(jì)劃、國(guó)家重大科技項(xiàng)目。盡管取得了一定成果，但技術(shù)水平仍與國(guó)際水平相差較大，作為原料的主要專用化學(xué)品仍然需要依賴進(jìn)口。